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藍寶石玻璃制造中的處理

時間:2024-06-07

藍寶石玻璃是一種具有優異的電絕緣性、透明性、良好的導熱性和高剛性的材料,被廣泛應用于許多領域。由于其優異的物理和化學性能,被認為是生長III-V或II-VI化合物等化合物半導體的理想襯底材料。

在LED和微電子電路、超高速集成電路等應用中,藍寶石被用作襯底材料以支持芯片制造和集成。由于藍寶石具有高剛性和良好的導熱性,在高溫高濕環境下仍能保持穩定,適合各種惡劣環境下的應用。

藍寶石玻璃

在制造藍寶石玻璃時,需要進行精密切割和拋光,以獲得表面平整的鏡面。該過程需要將藍寶石放置在切片機上,并使用特殊的切割工具將其切成薄片。切割完成后,可以去除芯片切割損傷層,提高基板的平整度,進一步優化性能。

在制造過程中,還需要檢查襯底和外延膜之間的結構匹配,以確保它們之間的連接緊密,這可以通過使用X射線衍射儀等設備來測量基板和外延膜之間的角度和取向差來實現。

制造完成后,還需要進行拋光和清洗,去除表面粗糙度和污染物,確保其具有高清潔度和無金屬污染,這些處理步驟可以確保藍寶石的表面質量和性能。

藍寶石玻璃作為優良的襯底材料,已廣泛應用于LED、微電子電路、超高速集成電路等領域。在制造過程中,需要[敏感詞]的切割和拋光過程,并檢查襯底和外延膜之間的結構匹配。制造完成后,需要進行清洗和拋光工藝,以確保表面質量和性能。

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